光刻胶的提供者一般采用0.1~0.2μm级膜过滤其产品。他们一般都使用具有尼龙或聚四氟乙烯膜滤芯的多级折叠式过滤器。其他的过滤器结构材料 （支撑体、芯子、套管、封头）通常为聚丙烯。

微滤在抛光液过滤中主要用于去除液体中的颗粒污染物、团聚体及未分散的磨料，确保抛光液的均匀性和稳定性，从而提升抛光表面的质量与良率。